China stellt EUV-Quellen-Prototyp FlintNano vor: Serienproduktion in 3–5 Jahren
Chinas Langdao Silex hat den EUV-Quellen-Prototyp FlintNano LPP-OXXO mit einer Ausgangsleistung von über 15 W vorgestellt. Bis zur Serienproduktion benötigt das Unternehmen 3–5 Jahre Entwicklungszeit.
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