Chinas SMEE startet Serienproduktion von Lithographiesystemen mit 90% heimischen Komponenten
SMEE hat auf der CIIE die Anlagen SSC800 und SSB800 mit über 90% chinesischen Komponenten vorgestellt. Laut TrendForce hat die Ausrüstung bereits über 10 Mio. Wafer bearbeitet und läuft bei großen chinesischen Chipherstellern.
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