Прототип EUV-источника FlintNano
На изображении представлен лабораторный прототип EUV-источника FlintNano LPP-OXXO китайской компании Langdao Silex в виде модульной промышленной установки.
На изображении представлен лабораторный прототип EUV-источника FlintNano LPP-OXXO китайской компании Langdao Silex в виде модульной промышленной установки.