Китай показал прототип EUV-источника FlintNano: до серийного производства — 3–5 лет
Китайская Langdao Silex представила прототип EUV-источника FlintNano LPP-OXXO с выходной мощностью свыше 15 Вт. До серийного производства компании потребуется 3–5 лет инженерной доработки.
Читать далее →