Прототип EUV-джерела FlintNano
На зображенні показано лабораторний прототип EUV-джерела FlintNano LPP-OXXO китайської компанії Langdao Silex у вигляді модульної промислової установки.
На зображенні показано лабораторний прототип EUV-джерела FlintNano LPP-OXXO китайської компанії Langdao Silex у вигляді модульної промислової установки.