Китай показав прототип EUV-джерела FlintNano: до серійного виробництва — 3–5 років
Китайська Langdao Silex представила прототип EUV-джерела FlintNano LPP-OXXO з вихідною потужністю понад 15 Вт. До серійного виробництва компанії знадобиться 3–5 років інженерного доопрацювання.
Читати далі →